فرآیند اساسی پوشش PVD JKL

(1) درمان قبل از PVD، از جمله تمیز کردن اقلام و قبل از درمان.روش های تمیز کردن خاص شامل تمیز کردن مواد شوینده، تمیز کردن با حلال شیمیایی، تمیز کردن اولتراسونیک و تمیز کردن بمباران یونی است.
(2) آنها را در کوره قرار دهید، از جمله تمیز کردن اتاقک خلاء و وسایل، و نصب، راه اندازی و اتصال اقلام و وسایل.
(3) جاروبرقی، معمولاً پمپاژ 6.6 Pa یا بیشتر، جلوی پمپ انتشار را زودتر باز کنید تا پمپ خلاء حفظ شود و پمپ انتشار گرم شود.پس از اینکه پیش گرمایش کافی بود، شیر بالا باز می شود و با پمپ انتشار به یک خلاء نیمه پایین 6×10-3 Pa پمپ می شود.
(4) پخت، پخت اقلام به دمای مورد نظر.
(5) بمباران یونی، خلاء به طور کلی 10 Pa تا 10-1 Pa است، ولتاژ بمباران یونی ولتاژ بالای منفی 200 ولت تا 1 KV است و زمان حمله 15 دقیقه تا 30 دقیقه است.
(6) پیش ذوب، تنظیم جریان برای پیش ذوب شدن مواد، تنظیم جریان برای پیش ذوب آبکاری و گاز زدایی به مدت 1 دقیقه تا 2 دقیقه.رسوب در حال تبخیر.جریان تبخیر در صورت نیاز تنظیم می شود تا زمان رسوب مورد نظر به پایان برسد.با خنک شدن، اقلام تا دمای معینی در محفظه خلاء خنک می شوند.
(7) پس از خارج شدن اقلام، محفظه خلاء بسته می شود، خلاء به l × l0-1Pa تخلیه می شود و پمپ انتشار قبل از اینکه پمپ تعمیر و نگهداری و آب خنک کننده خاموش شود تا دمای مجاز خنک می شود.
 


زمان ارسال: سپتامبر-07-2021